マルチアーククロムCrカソードターゲット
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マルチアーククロムCrカソードターゲット

マルチアーククロムCrカソードターゲット

クロムターゲット;クロムスパッタリングターゲット
材質:クロムCr
純度: 99.9%(3N) - 99.99%(4N) の範囲 サイズ: 直径 100mm × 40mm; 直径 100mm × 45mm; 直径 100mm × 50mm; 直径 80mm × 40mm; 直径 60mm × 30mm またはカスタマイズ
加工技術:メルトとHIP

製品説明

マルチ アーク クロム Cr カソード ターゲットは、物理蒸着 (PVD) プロセスで一般的に使用される薄膜蒸着ターゲットの一種です。これは高純度クロム (Cr) でできており、基板上にクロムの薄膜を堆積するために使用されます。

「マルチ アーク」という用語は、このタイプのターゲットで使用される堆積方法を指します。-マルチアーク PVD ​​プロセスでは、カソード ターゲットとアノードの間に電気アークが発生します。これにより、カソード材料の原子がクロムターゲットから放出され、基板上に堆積されます。複数のアークを使用して、堆積速度を高め、膜の品質を向上させます。

クロムは、その高い硬度、耐摩耗性、耐食性により、PVD コーティングによく使用される材料です。自動車部品、航空宇宙部品、装飾塗装など幅広い用途に使用されています。

クロム スパッタリング ターゲットは通常、高純度のクロム粉末を固体のターゲット形状に圧縮する粉末冶金プロセスを使用して製造されます。{0}その後、クロムターゲットを高温で焼結して、望ましい密度と微細構造を実現します。

全体として、これはクロムコーティングを堆積するための PVD ​​プロセスの重要なコンポーネントであり、その高性能と美的魅力により広く使用されています。

仕様:

材質:純Cr 99.9%-99.99%、NiCr合金

純度: 99.9%(3N) - 99.99%(4N) の範囲

標準: ASTM、DIN、JIS、ASME

サイズ:Dia100*40mm、100*45mm、98*40mm、95*40mm、80*50mm、80*45mm、80*40mm

MOQ: 5個

特徴:

クロムターゲットは、高度な熱間静水圧プレス (HIP) プロセスによって製造されます。製品には、制御可能な純度と密度、微細で均一な粒子、長寿命などを備えた長方形ターゲット、円弧ターゲット、環状ターゲット、および大きなアスペクト比の一体形成チューブターゲットが含まれます。

パラメータ:

クロムターゲット製品性能
純度%99.9%-99.99%
密度 g/cm3
>7.12
粒径 um
<100
金属不純物の総含有量 PPM
<5000
熱伝導率 Wm/k600-100
熱膨張係数8x10-6

その他のスパッタリングターゲット材料

高純度金属スパッタリングターゲット

アルミニウム

ペレット、円形、平面、回転可能なターゲット


3N~6N

クロニウム

2N~3N5

4N~5N

白金

4N~5N

4N~5N

ニッケル

4N~5N

4N~6N

マンガン

4N~5N

コバルト

3N~4N

3N~4N

亜鉛

4N~5N

ジルコニウム

2N2~4N

チタン

4N~5N

インジウム

4N~5N

ゲルマニウム

4N~6N

シリコン

4N~6N

4N~5N

モリブデン

3N~4N

ニオブ

3N5

タタルム

4N5

タングステン

3N5

ハフニウム

3N

バナジウム

2N5~3N

コーティング ターゲットは、適切なプロセス条件下でマグネトロン スパッタリング、マルチ アーク イオン プレーティング、その他のタイプのコーティング システムによって基板上にさまざまな機能性薄膜を形成するスパッタリング ソースです。簡単に言えば、ターゲット物質は高速荷電粒子が衝突するターゲット物質です。-高エネルギーのレーザー兵器に使用されます。-異なる出力密度、異なる出力波形、および異なる波長のレーザーが異なるターゲットと相互作用すると、異なる殺傷と破壊が発生します。効果。例: 蒸着マグネトロン スパッタリング コーティングは、加熱蒸着コーティング、アルミニウム フィルムなどです。さまざまなターゲット材料 (アルミニウム、銅、ステンレス鋼、チタン、ニッケル ターゲットなど) を交換すると、さまざまなフィルム システム (超硬質、耐摩耗性、耐腐食性の合金フィルムなど) を得ることができます。-

応用事例

これは、基板上にクロムの薄膜を堆積するためにさまざまな業界で広く使用されています。アプリケーションケースの例を次に示します。

クロム ターゲットの主な用途の 1 つは、自動車産業で、ピストン リング、ベアリング、バルブ ステムなどのエンジン部品に耐摩耗性コーティングを堆積することです。{0}これらのコーティングは、コンポーネントの耐久性と性能を向上させ、摩擦と摩耗を軽減します。

たとえば、大手自動車サプライヤーはピストン リングに硬質クロム コーティングを施していました。クロム ターゲットは高純度クロムでできており、直径 100 mm、厚さ 3 mm でした。{1} PVD プロセスでは、アルゴン ガス雰囲気および堆積速度 0.2 ~ 0.4 μm/min のマルチ アーク堆積システムを使用しました。

得られたクロム皮膜は厚さ3~5μmで、密着性、耐摩耗性、耐食性に優れていました。コーティングされたピストンリングは、コーティングされていないリングと比較して、耐久性と性能が大幅に向上しました。

この応用事例は、自動車用途向けの高品質クロム コーティングの成膜におけるクロム スパッタリング ターゲットの有効性を示しています。{0} PVD コーティングの使用は、自動車部品の性能と信頼性を向上させる重要な方法であり、マルチ アーク クロム Cr カソード ターゲットがこのプロセスで重要な役割を果たします。クロム ターゲットのサプライヤーである当社は、クロム ペレット ターゲット、円形ターゲット、平面ターゲット、回転式ターゲットも供給できます。

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